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“材料研究室现在主要以晶圆为研究对象,以后在整个芯片制造生产中,材料方面的进步进化,都不可能停下脚步,而芯片制造中所需要用到的材料是很多的。这些会逐步都归纳到材料研究室来。”
“这是部门设计与规划的事情,这就不用我操心了吧?”
“现在不是带你参观嘛,后面的研究部门就都跟光刻机相关了,也就是说,目前我们的研究分两大块,一块研究晶圆生产,一块研究光刻机技术。”
整个光刻机进化的历史就是和一个公式里的三个因素有关,这三个因素决定了光刻机的分辨率,分辨率,也就是光刻可以达到的最小尺寸。
当然,这个跟晶圆生产里,单晶硅柱或者说晶圆片不一样,晶圆柱或者晶圆片,那是越大越好,可分辨率却是越小越好。
影响分辨率的第一个因素就是光的波长,波长越小成像越精
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